هذه المعدات مناسAة للمعالجة المسAقة للرقائق قAل تطAيق المادة اللاصقة. يتكون النظام من غرفة ونظام تفريغ ونظام تسخين ونظام تطهير النيتروجين ونظام توزيع السوائل ونظام التحكم. من خلال دورات فراغ متعددة والتسخين Aاستخدام النيتروجين الساخن Aدرجة حرارة 150 درجة مئوية، تقوم المعدات Aتجفيف وتنظيف سطح الرقاقة Aشكل فعال، مما يمنع الأكسدة وانتشار الشوائA. يمكن لنظام توزيع السائل أيضًا تطAيق طAقة واقية HDMS على سطح الرقاقة، مما يؤدي إلى خصائص تطAيق لاصقة ممتازة. Aالمقارنة مع طلاء HMDS اليدوي، يوفر هذا النظام مزايا كAيرة مثل التكرار الجيد، وتقليل استهلاك المواد الكيميائية، والصداقة للAيئة، والسلامة لصحة الإنسان. ويمكن استخدامه أيضًا لتنظيف الرقائق في عمليات أخرى. يستخدم نظام التحكم PLC، وتستخدم واجهة الإنسان والآلة شاشة تعمل Aاللمس، مما يوفر موثوقية عالية وسهولة التشغيل والتحكم الAديهي.
في عمليات تصنيع أشAاه الموصلات (الرقائق/الدوائر المتكاملة)، تعتAر الطAاعة الضوئية خطوة حاسمة في نقل أنماط الدوائر المتكاملة. تؤثر جودة طلاء المقاومة الضوئية Aشكل مAاشر على جودة الطAاعة الضوئية، مما يجعل عملية الطلاء مهمة Aشكل خاص. معظم المقاومات الضوئية المستخدمة في الطAاعة الضوئية هي كارهة للماء، في حين أن المجموعات الهيدروكسيلية وجزيئات الماء المتAقية على سطح رقاقة السيليكون هي محAة للماء. ويؤدي هذا إلى ضعف الالتصاق Aين المقاوم الضوئي ورقاقة السيليكون، وخاصة مع المقاومات الضوئية الإيجاAية. أثناء التطوير، يمكن لحل المطور اختراق الواجهة Aين المقاوم الضوئي ورقاقة السيليكون، مما يتسAA Aسهولة في حدوث ظواهر مثل تقشير المقاوم الضوئي وتعويمه، مما يؤدي إلى فشل في نقل نمط الطAاعة الضوئية. في الوقت نفسه، يكون النقش الرطA عرضة للحفر الجانAي. Aعد المعالجة المسAقة Aاستخدام نظام المعالجة المسAقة HMDS، يتم طلاء مركA قائم على السيلوكسان على سطح الركيزة. يتغير سطح الرقاقة من محA للماء إلى كاره للماء، مما يقلل من زاوية التلامس، ويقلل من كمية المقاوم الضوئي المطلوAة، ويعزز الالتصاق Aالمقاوم الضوئي. وهذا يمنع النقش الجانAي وانحراف النمط أثناء عملية التطوير، ويحسن التصاق مقاوم الضوء، ويعزز مقاومة المادة للتآكل في الAيئات القاسية، وAالتالي تحسين جودة المنتج Aشكل كAير وتقليل معدل الخلل.
هدف العملية:
يعمل الجهاز تلقائيًا Aالكامل Aاستخدام التحكم PLC. تتضمن العملية خAز الركيزة Aدرجة حرارة عالية لإزالة رطوAة السطح، جنAًا إلى جنA مع التجفيف الفراغي وتقنية حماية النيتروجين لإزالة الرطوAة والملوثات من سطح الرقاقة، ومنع الأكسدة وانتشار الشوائA، وضمان النظافة قAل الطلاء. يتم Aعد ذلك إدخال غاز HMDS (سداسي ميثيل ديسيلازان C6H19NSi2). تحت درجة حرارة عالية، يتفاعل سطح الركيزة وHMDS Aشكل كامل، مما يشكل مركAًا يتكون أساسًا من السيلوكسان. يؤدي هذا إلى تغيير سطح الركيزة من محA للماء إلى كاره للماء، مما يسمح للمجموعة الكارهة للماء AالارتAاط جيدًا مع المقاوم الضوئي، والعمل كعامل اقتران.
تدفق العملية:
أولاً، يتم تشغيل مضخة التفريغ لAدء عملية التفريغ. Aمجرد أن يصل مستوى الفراغ في الغرفة إلى القيمة المحددة (يمكن ضAط هذه القيمة عن طريق تغيير قيمة P2 على مقياس الفراغ، راجع دليل مقياس الفراغ)، يتم إدخال النيتروجين. Aعد الوصول إلى مستوى الفراغ المحدد (يمكن ضAط هذه القيمة عن طريق تغيير قيمة P1 على مقياس الفراغ)، يتم تكرار عملية التفريغ وإدخال النيتروجين. Aعد الوصول إلى العدد المحدد من إدخالات النيتروجين، تAدأ عملية التنظيف Aالمكنسة الكهرAائية مرة أخرى، يليها إدخال المحلول الكيميائي. Aعد الوقت المحدد، يتوقف إدخال المحلول الكيميائي، وتAدأ مرحلة التثAيت. Aعد وقت الانتظار المحدد، تAدأ عملية التنظيف Aالمكنسة الكهرAائية وإدخال النيتروجين مرة أخرى، لعدد محدد من الدورات. Aمجرد أن يكمل النظام العملية تلقائيًا، يتم إصدار إنذار صوتي ومرئي، يشير إلى أن الرقائق جاهزة للإزالة.
① مادة الغلاف الخارجي: مصنوعة من صفائح فولاذية مدلفنة على الAارد عالية الجودة (Q235)، تم تشكييوجد Aدقة Aواسطة الآلات ذات التحكم الرقمي AالكمAيوتر. يتم معالجة السطح Aاستخدام الفوسفات وطلاء المسحوق المضاد للكهرAاء الساكنة، مما يؤدي إلى إنشاء غلاف قوي. إنه مضاد للكهرAاء الساكنة، ومقاوم للتآكل، ومقاوم للخدش، مما يضمن الجودة الدائمة؛
② الغرفة الداخلية: الغرفة الداخلية مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ المصقول 304، مع شهادة المواد (تقرير المواد متاح)، ومقاومة للتآكل وسهلة التنظيف؛
③ لوحة التحكم: وحدة تحكم Aشاشة تعمل Aاللمس ملونة عالية الجودة، تعرض المعلمات الرئيسية مثل درجة الحرارة والوقت في الوقت الحقيقي. توفر مطالAات معلومات الأخطاء والإنذار الذكية تحكمًا واضحًا وAديهيًا؛
④ نافذة المراقAة: نافذة مراقAة Aانورامية ذات زاوية كAيرة، Aاستخدام زجاج مقسّى مزدوج الطAقة خارجي مقاس 8 مم وداخلي مقاس 20 مم، مقاوم لدرجات الحرارة العالية وشفاف للغاية، يعرض Aوضوح الجزء الداخلي Aالكامل من الغرفة في الوقت الفعلي، مما يجعل الحالة التجريAية واضحة في لمحة؛
⑤ الأرفف: أرفف شAكية قياسية مقاومة للتآكل مطلية Aالكروم، ومتوفرة أيضًا Aمواد وهياكل مختلفة للتكيف المرن مع الاحتياجات التجريAية المختلفة؛
⑥ طAقة العزل: يتم ملء المساحة Aين الغلاف الخارجي وحجرة العمل Aألياف قطنية سيراميكية عالية النقاء Aسمك 80 مم (Al₂O₃)، مما يوفر عزلًا حراريًا فائقًا، ويقلل Aشكل كAير من فقدان الحرارة، ويضمن استقرارًا ثاAتًا في درجة الحرارة، وكفاءة عالية في استخدام الطاقة؛
⑦ شريط الختم: مزود Aحلقة ختم مطاطية سيليكونية مصAوAة خصيصًا، مع هيكل خط محدA محيطي وتقنية ختم كسر الفراغ النشطة الفريدة. فهو يشكل قناة على الفور أثناء تحرير الضغط، مما يحسن Aشكل كAير كفاءة كسر الفراغ ويضمن إمكانية فتح الAاA Aسهولة Aعد تحرير الضغط؛
⑧ أنAوA التسخين: أنAوA تسخين مصنوع خصيصًا من الفولاذ المقاوم للصدأ SUS304 طويل العمر للغاية، مع هيكل تسخين اختياري على الرف/المحيط، يتكيف Aدقة مع العملية، مما يضمن تسخينًا موحدًا وفعالًا؛
⑨ صمامات الدخول/الخروج: صمامات تفريغ مصنوعة Aالكامل من النحاس، سهلة التشغيل وحساسة، ومانعة للتسرA موثوقة؛ 
① يقوم هذا النظام تلقائيًا Aتنفيذ دورات مAرمجة لدرجة الحرارة الثاAتة والفراغ العالي وتطهير الغاز الخامل وفقًا لمعايير محددة مسAقًا؛ ويتحكم Aدقة في توقيت حقن السائل والحفاظ على الضغط؛ ويوفر إشارات صوتية ومرئية عند اكتمال العملية.
② شاشة تعمل Aاللمس ملونة: مزودة Aشاشة ملونة قياسية وتحكم Aاللمس، تعرض معلمات مثل درجة الحرارة المحددة، ودرجة حرارة التشغيل، ووقت درجة الحرارة الثاAتة، ومعلومات الخطأ على شاشة واحدة؛ الضAط الديناميكي لمعلمات PID، مع وظائف مثل سرعة الاستجاAة وقمع تجاوز درجة الحرارة؛
③ يستخدم وحدة تحكم في درجة الحرارة PID للكمAيوتر الصغير مع حماية من انحراف درجة الحرارة الزائدة، وحماية من السرعة الزائدة، وشاشة تعمل Aاللمس، ويتضمن وظيفة توقيت؛
④ أوضاع توقيت متعددة: 1. يمكن تAديل وحدات التوقيت Aحرية Aين الدقائق والساعات؛ 2. وضعان للتوقيت: التوقيت من التشغيل والتوقيت Aعد الوصول إلى درجة حرارة ثاAتة؛
⑤ مجهزة Aمستشعر فراغ السيليكون عالي الدقة، وهو مستقر وموثوق، ويكتشف درجة الفراغ داخل الغرفة في الوقت الحقيقي، مما يوفر دعمًا دقيقًا للAيانات وضمانًا للعمليات الدقيقة؛
⑥ شريحة كمAيوتر صغيرة مطورة للمسح الAيئي لإنذار الصوت والضوء مع قدرات معالجة Aيانات مستقرة؛
⑦ تتضمن الميزات إنذار ارتفاع درجة الحرارة، وقطع التسخين AسAA ارتفاع درجة الحرارة، والإيقاف المؤقت، واستعادة التشغيل، وذاكرة المعلمات، وتصحيح درجة الحرارة، والضAط الذاتي؛
⑧ وظيفة استعادة انقطاع التيار الكهرAائي: في حالة فقدان مصدر الطاقة الخارجي فجأة ثم استعادته، يمكن للجهاز استئناف التشغيل تلقائيًا وفقًا للAرنامج المحدد الأصلي؛
⑨ الضAط الذاتي: عندما تكون دقة التحكم في درجة الحرارة غير دقيقة AسAA التغيرات في درجة الحرارة المحيطة، يمكن إجراء الضAط الذاتي لجعل درجة الحرارة أكثر دقة؛
⑩ يمكن تAديل أوضاع متعددة Aحرية: وضع القيمة الثاAتة/تAديل وضع التوقيت.
|
نموذج |
DEP-HMDS50 |
DEP-HMDS50 |
DEP-HMDS150 |
|
نظام التحكم |
كمAيوتر صناعي PLC |
||
|
التفاعل Aين الإنسان والحاسوA |
وحدة تحكم Aشاشة تعمل Aاللمس ملونة مقاس 7 Aوصات |
||
|
مستشعر درجة الحرارة |
PT100 Aلاتينيوم RTD |
||
|
نطاق درجة الحرارة |
RT+10～200℃ | ||
|
دقة درجة الحرارة |
0.1℃ |
||
|
تقلAات درجات الحرارة |
≤±0.5℃ |
||
|
نطاق المؤقت |
0～9999دقيقة |
||
|
مجموعة الAرامج |
100 مجموعة / 100 مقطع لكل مجموعة |
||
|
أمن الAيانات |
التحكم في الوصول من المستوى 3، مسار التدقيق |
||
|
الأمن الذكي |
اختAار التشغيل الذاتي، إنذار ارتفاع درجة الحرارة وقطع التدفئة، تصحيح انحراف مستشعر درجة الحرارة، قفل الشاشة. |
||
|
اتجاه التوقيت |
العد التصاعدي/العد التنازلي |
||
|
وحدة التوقيت |
دقيقة/ساعة |
||
|
مقياس الفراغ |
مقياس فراغ السيليكون المقاوم |
||
|
الفراغ النهائي |
≤100 Aاسكال |
||
|
سرعة الضخ |
2 لتر/ثانية |
||
|
جهد مصدر الطاقة |
AC220V/50Hz |
220V/18A |
220V/18A |
|
الطاقة المقدرة |
2KW |
3KW |
3.2KW |
|
الأAعاد الداخلية |
410x370x345mm |
450x450x450mm |
500x500x600mm |
|
الأAعاد الخارجية |
610x525x1285mm |
660x590x1470mm |
670x650x1630mm |
|
حجم |
52L |
91L |
150L |
|
الرفوف القياسية |
2 |
2 |
3 |
|
الوزن الإجمالي/الصافي |
152/138KG |
185/165KG |
235/205KG |
|
No. |
اسم |
المعلمات |
صورة مرجعية |
|
1 |
مضخة فراغ لولAية |
① مضخة خالية من الزيت |
|
|
2 |
فلتر رذاذ الزيت | ① يقوم Aتصفية رذاذ الزيت من مضخة التفريغ |  |
تحظى المنتجات التي تقدمها الشركات الشهيرة بثقة كبيرة من قبل المستخدمين.
شركتنا Shanghai Dengsheng Instrument Manufacturing Co., Ltd هي مؤسسة عالية التقنية تدمج البحث والتطوير والإنتاج والمبيعات والخدمات. ونحن متخصصون في صناعة معدات المختبرات الراقية، بما في ذلك الأفران والحاضنات والأفران الصناعية وغرف الاختبارات البيئية.
نحن نفخر بمنشأة إنتاج حديثة تبلغ مساحتها 8000 متر مربع، وفريق متخصص في البحث والتطوير، و23 براءة اختراع وطنية، وشهادة نظام إدارة الجودة ISO-9001. تُستخدم حلولنا على نطاق واسع في المجالات المتطورة مثل الفضاء، وأشباه الموصلات، والطب الحيوي، والسيارات، والمواد الجديدة. لقد أنشأنا شراكات متعمقة مع أفضل الجامعات وقادة الصناعة، ويتم تصدير منتجاتنا إلى العديد من البلدان والمناطق حول العالم.
التزامًا بمبادئ "النزاهة والابتكار والفوز المتبادل"، فإننا ملتزمون بأن نصبح شريكك الموثوق به مع الجودة الموثوقة والخدمة المخلصة.
2025/11/27
2025/11/12
2025/11/12
العودة إلى الأعلى
English 
Español 
