هذه المعدات مناسبة للمعالجة المسبقة للرقائق قبل تطبيق المادة اللاصقة. يتكون النظام من غرفة ونظام تفريغ ونظام تسخين ونظام تطهير النيتروجين ونظام توزيع السوائل ونظام التحكم. من خلال دورات فراغ متعددة والتسخين باستخدام النيتروجين الساخن بدرجة حرارة 150 درجة مئوية، تقوم المعدات بتجفيف وتنظيف سطح الرقاقة بشكل فعال، مما يمنع الأكسدة وانتشار الشوائب. يمكن لنظام توزيع السائل أيضًا تطبيق طبقة واقية HDMS على سطح الرقاقة، مما يؤدي إلى خصائص تطبيق لاصقة ممتازة. بالمقارنة مع طلاء HMDS اليدوي، يوفر هذا النظام مزايا كبيرة مثل التكرار الجيد، وتقليل استهلاك المواد الكيميائية، والصداقة للبيئة، والسلامة لصحة الإنسان. ويمكن استخدامه أيضًا لتنظيف الرقائق في عمليات أخرى. يستخدم نظام التحكم PLC، وتستخدم واجهة الإنسان والآلة شاشة تعمل باللمس، مما يوفر موثوقية عالية وسهولة التشغيل والتحكم البديهي.
في عمليات تصنيع أشباه الموصلات (الرقائق/الدوائر المتكاملة)، تعتبر الطباعة الضوئية خطوة حاسمة في نقل أنماط الدوائر المتكاملة. تؤثر جودة طلاء المقاومة الضوئية بشكل مباشر على جودة الطباعة الضوئية، مما يجعل عملية الطلاء مهمة بشكل خاص. معظم المقاومات الضوئية المستخدمة في الطباعة الضوئية هي كارهة للماء، في حين أن المجموعات الهيدروكسيلية وجزيئات الماء المتبقية على سطح رقاقة السيليكون هي محبة للماء. ويؤدي هذا إلى ضعف الالتصاق بين المقاوم الضوئي ورقاقة السيليكون، وخاصة مع المقاومات الضوئية الإيجابية. أثناء التطوير، يمكن لحل المطور اختراق الواجهة بين المقاوم الضوئي ورقاقة السيليكون، مما يتسبب بسهولة في حدوث ظواهر مثل تقشير المقاوم الضوئي وتعويمه، مما يؤدي إلى فشل في نقل نمط الطباعة الضوئية. في الوقت نفسه، يكون النقش الرطب عرضة للحفر الجانبي. بعد المعالجة المسبقة باستخدام نظام المعالجة المسبقة HMDS، يتم طلاء مركب قائم على السيلوكسان على سطح الركيزة. يتغير سطح الرقاقة من محب للماء إلى كاره للماء، مما يقلل من زاوية التلامس، ويقلل من كمية المقاوم الضوئي المطلوبة، ويعزز الالتصاق بالمقاوم الضوئي. وهذا يمنع النقش الجانبي وانحراف النمط أثناء عملية التطوير، ويحسن التصاق مقاوم الضوء، ويعزز مقاومة المادة للتآكل في البيئات القاسية، وبالتالي تحسين جودة المنتج بشكل كبير وتقليل معدل الخلل.
هدف العملية:
يعمل الجهاز تلقائيًا بالكامل باستخدام التحكم PLC. تتضمن العملية خبز الركيزة بدرجة حرارة عالية لإزالة رطوبة السطح، جنبًا إلى جنب مع التجفيف الفراغي وتقنية حماية النيتروجين لإزالة الرطوبة والملوثات من سطح الرقاقة، ومنع الأكسدة وانتشار الشوائب، وضمان النظافة قبل الطلاء. يتم بعد ذلك إدخال غاز HMDS (سداسي ميثيل ديسيلازان C6H19NSi2). تحت درجة حرارة عالية، يتفاعل سطح الركيزة وHMDS بشكل كامل، مما يشكل مركبًا يتكون أساسًا من السيلوكسان. يؤدي هذا إلى تغيير سطح الركيزة من محب للماء إلى كاره للماء، مما يسمح للمجموعة الكارهة للماء بالارتباط جيدًا مع المقاوم الضوئي، والعمل كعامل اقتران.
تدفق العملية:
أولاً، يتم تشغيل مضخة التفريغ لبدء عملية التفريغ. بمجرد أن يصل مستوى الفراغ في الغرفة إلى القيمة المحددة (يمكن ضبط هذه القيمة عن طريق تغيير قيمة P2 على مقياس الفراغ، راجع دليل مقياس الفراغ)، يتم إدخال النيتروجين. بعد الوصول إلى مستوى الفراغ المحدد (يمكن ضبط هذه القيمة عن طريق تغيير قيمة P1 على مقياس الفراغ)، يتم تكرار عملية التفريغ وإدخال النيتروجين. بعد الوصول إلى العدد المحدد من إدخالات النيتروجين، تبدأ عملية التنظيف بالمكنسة الكهربائية مرة أخرى، يليها إدخال المحلول الكيميائي. بعد الوقت المحدد، يتوقف إدخال المحلول الكيميائي، وتبدأ مرحلة التثبيت. بعد وقت الانتظار المحدد، تبدأ عملية التنظيف بالمكنسة الكهربائية وإدخال النيتروجين مرة أخرى، لعدد محدد من الدورات. بمجرد أن يكمل النظام العملية تلقائيًا، يتم إصدار إنذار صوتي ومرئي، يشير إلى أن الرقائق جاهزة للإزالة.
① مادة الغلاف الخارجي: مصنوعة من صفائح فولاذية مدلفنة على البارد عالية الجودة (Q235)، تم تشكيلها بدقة بواسطة الآلات ذات التحكم الرقمي بالكمبيوتر. يتم معالجة السطح باستخدام الفوسفات وطلاء المسحوق المضاد للكهرباء الساكنة، مما يؤدي إلى إنشاء غلاف قوي. إنه مضاد للكهرباء الساكنة، ومقاوم للتآكل، ومقاوم للخدش، مما يضمن الجودة الدائمة؛
② الغرفة الداخلية: الغرفة الداخلية مصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ المصقول 304، مع شهادة المواد (تقرير المواد متاح)، ومقاومة للتآكل وسهلة التنظيف؛
③ لوحة التحكم: وحدة تحكم بشاشة تعمل باللمس ملونة عالية الجودة، تعرض المعلمات الرئيسية مثل درجة الحرارة والوقت في الوقت الحقيقي. توفر مطالبات معلومات الأخطاء والإنذار الذكية تحكمًا واضحًا وبديهيًا؛
④ نافذة المراقبة: نافذة مراقبة بانورامية ذات زاوية كبيرة، باستخدام زجاج مقسّى مزدوج الطبقة خارجي مقاس 8 مم وداخلي مقاس 20 مم، مقاوم لدرجات الحرارة العالية وشفاف للغاية، يعرض بوضوح الجزء الداخلي بالكامل من الغرفة في الوقت الفعلي، مما يجعل الحالة التجريبية واضحة في لمحة؛
⑤ الأرفف: أرفف شبكية قياسية مقاومة للتآكل مطلية بالكروم، ومتوفرة أيضًا بمواد وهياكل مختلفة للتكيف المرن مع الاحتياجات التجريبية المختلفة؛
⑥ طبقة العزل: يتم ملء المساحة بين الغلاف الخارجي وحجرة العمل بألياف قطنية سيراميكية عالية النقاء بسمك 80 مم (Al₂O₃)، مما يوفر عزلًا حراريًا فائقًا، ويقلل بشكل كبير من فقدان الحرارة، ويضمن استقرارًا ثابتًا في درجة الحرارة، وكفاءة عالية في استخدام الطاقة؛
⑦ شريط الختم: مزود بحلقة ختم مطاطية سيليكونية مصبوبة خصيصًا، مع هيكل خط محدب محيطي وتقنية ختم كسر الفراغ النشطة الفريدة. فهو يشكل قناة على الفور أثناء تحرير الضغط، مما يحسن بشكل كبير كفاءة كسر الفراغ ويضمن إمكانية فتح الباب بسهولة بعد تحرير الضغط؛
⑧ أنبوب التسخين: أنبوب تسخين مصنوع خصيصًا من الفولاذ المقاوم للصدأ SUS304 طويل العمر للغاية، مع هيكل تسخين اختياري على الرف/المحيط، يتكيف بدقة مع العملية، مما يضمن تسخينًا موحدًا وفعالًا؛
⑨ صمامات الدخول/الخروج: صمامات تفريغ مصنوعة بالكامل من النحاس، سهلة التشغيل وحساسة، ومانعة للتسرب موثوقة؛
① يقوم هذا النظام تلقائيًا بتنفيذ دورات مبرمجة لدرجة الحرارة الثابتة والفراغ العالي وتطهير الغاز الخامل وفقًا لمعايير محددة مسبقًا؛ ويتحكم بدقة في توقيت حقن السائل والحفاظ على الضغط؛ ويوفر إشارات صوتية ومرئية عند اكتمال العملية.
② شاشة تعمل باللمس ملونة: مزودة بشاشة ملونة قياسية وتحكم باللمس، تعرض معلمات مثل درجة الحرارة المحددة، ودرجة حرارة التشغيل، ووقت درجة الحرارة الثابتة، ومعلومات الخطأ على شاشة واحدة؛ الضبط الديناميكي لمعلمات PID، مع وظائف مثل سرعة الاستجابة وقمع تجاوز درجة الحرارة؛
③ يستخدم وحدة تحكم في درجة الحرارة PID للكمبيوتر الصغير مع حماية من انحراف درجة الحرارة الزائدة، وحماية من السرعة الزائدة، وشاشة تعمل باللمس، ويتضمن وظيفة توقيت؛
④ أوضاع توقيت متعددة: 1. يمكن تبديل وحدات التوقيت بحرية بين الدقائق والساعات؛ 2. وضعان للتوقيت: التوقيت من التشغيل والتوقيت بعد الوصول إلى درجة حرارة ثابتة؛
⑤ مجهزة بمستشعر فراغ السيليكون عالي الدقة، وهو مستقر وموثوق، ويكتشف درجة الفراغ داخل الغرفة في الوقت الحقيقي، مما يوفر دعمًا دقيقًا للبيانات وضمانًا للعمليات الدقيقة؛
⑥ شريحة كمبيوتر صغيرة مطورة للمسح البيئي لإنذار الصوت والضوء مع قدرات معالجة بيانات مستقرة؛
⑦ تتضمن الميزات إنذار ارتفاع درجة الحرارة، وقطع التسخين بسبب ارتفاع درجة الحرارة، والإيقاف المؤقت، واستعادة التشغيل، وذاكرة المعلمات، وتصحيح درجة الحرارة، والضبط الذاتي؛
⑧ وظيفة استعادة انقطاع التيار الكهربائي: في حالة فقدان مصدر الطاقة الخارجي فجأة ثم استعادته، يمكن للجهاز استئناف التشغيل تلقائيًا وفقًا للبرنامج المحدد الأصلي؛
⑨ الضبط الذاتي: عندما تكون دقة التحكم في درجة الحرارة غير دقيقة بسبب التغيرات في درجة الحرارة المحيطة، يمكن إجراء الضبط الذاتي لجعل درجة الحرارة أكثر دقة؛
⑩ يمكن تبديل أوضاع متعددة بحرية: وضع القيمة الثابتة/تبديل وضع التوقيت.
| نموذج | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS50 | DEP-HMDS150 |
| نظام التحكم | كمبيوتر صناعي PLC | ||
| التفاعل بين الإنسان والحاسوب | وحدة تحكم بشاشة تعمل باللمس ملونة مقاس 7 بوصات | ||
| مستشعر درجة الحرارة | PT100 بلاتينيوم RTD | ||
| نطاق درجة الحرارة | ر ت 10～200℃ | ||
| دقة درجة الحرارة | 0.1℃ | ||
| تقلبات درجات الحرارة | ≤±0.5℃ | ||
| نطاق المؤقت | 0～9999دقيقة | ||
| مجموعة البرامج | 100 مجموعة / 100 مقطع لكل مجموعة | ||
| أمن البيانات | التحكم في الوصول من المستوى 3، مسار التدقيق | ||
| الأمن الذكي | اختبار التشغيل الذاتي، إنذار ارتفاع درجة الحرارة وقطع التدفئة، تصحيح انحراف مستشعر درجة الحرارة، قفل الشاشة. | ||
| اتجاه التوقيت | العد التصاعدي/العد التنازلي | ||
| وحدة التوقيت | دقيقة/ساعة | ||
| مقياس الفراغ | مقياس فراغ السيليكون المقاوم | ||
| الفراغ النهائي | ≤100 باسكال | ||
| سرعة الضخ | 2 لتر/ثانية | ||
| جهد مصدر الطاقة | تيار متردد 220 فولت/50 هرتز | 220 فولت/18 أمبير | 220 فولت/18 أمبير |
| الطاقة المقدرة | 2 كيلو وات | 3 كيلو وات | 3.2 كيلو وات |
| الأبعاد الداخلية | 410x370x345 ملم | 450x450x450 ملم | 500x500x600 ملم |
| الأبعاد الخارجية | 610x525x1285 ملم | 660x590x1470 ملم | 670x650x1630 ملم |
| حجم | 52 لتر | 91 لتر | 150 لتر |
| الرفوف القياسية | 2 | 2 | 3 |
| الوزن الإجمالي/الصافي | 152/138 كجم | 185/165 كجم | 235/205كجم |
| لا. | اسم | المعلمات | صورة مرجعية |
| 1 | مضخة فراغ لولبية | ① مضخة خالية من الزيت | |
| 2 | فلتر رذاذ الزيت | ① يقوم بتصفية رذاذ الزيت من مضخة التفريغ |  |
تحظى المنتجات التي تقدمها الشركات الشهيرة بثقة كبيرة من قبل المستخدمين.
شركة شنغهاي دينجشينج لتصنيع الأدوات المحدودة هي مؤسسة عالية التقنية تجمع بين البحث والتطوير والإنتاج والمبيعات والخدمة. نحن متخصصون في تصنيع المعدات المخبرية المتطورة، بما في ذلك الأفران، والحاضنات، والأفران الصناعية، وغرف الاختبار البيئي.
نحن نفخر بمنشأة إنتاج حديثة تبلغ مساحتها 8000 متر مربع، وفريق متخصص في البحث والتطوير، و23 براءة اختراع وطنية، وشهادة نظام إدارة الجودة ISO-9001. تُستخدم حلولنا على نطاق واسع في المجالات المتطورة مثل الفضاء، وأشباه الموصلات، والطب الحيوي، والسيارات، والمواد الجديدة. لقد أنشأنا شراكات متعمقة مع أفضل الجامعات وقادة الصناعة، ويتم تصدير منتجاتنا إلى العديد من البلدان والمناطق حول العالم.
التزامًا بمبادئ "النزاهة والابتكار والفوز المتبادل"، فإننا ملتزمون بأن نصبح شريكك الموثوق به مع الجودة الموثوقة والخدمة المخلصة.
2025/11/27
2025/11/12
2025/11/12
العودة إلى الأعلى
English 
